化學(xué)氣相沉積爐

化學(xué)氣相沉積爐基本信息

C/C復(fù)合材料是一種炭纖維增強(qiáng)炭基體的先進(jìn)復(fù)合材料，具有低密度、高比強(qiáng)、耐高溫(3000℃)、 摩擦磨損性能優(yōu)異等特點(diǎn)。早期，通過(guò)試驗(yàn)方法研制出的 C/C復(fù)合材料產(chǎn)品主要用于航空航天領(lǐng)域，如軍用飛機(jī)制動(dòng)盤(pán)、火箭發(fā)動(dòng)機(jī)噴管、燃燒室、鼻錐等關(guān)鍵部件。目前，C/C復(fù)合材料因其優(yōu)異的性能，廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代交通、大型制造業(yè)、國(guó)家大型核能工程、現(xiàn)代國(guó)防建設(shè)、高溫?zé)岱雷o(hù)、半導(dǎo)體工業(yè)、熱壓模具等領(lǐng)域。
C/C復(fù)合材料制備的關(guān)鍵技術(shù)是炭纖維預(yù)制體的致密化-CVI工藝。C/C復(fù)合材料化學(xué)氣相沉積爐是CVI工藝的專用設(shè)備，是在一定的真空或惰性氣氛條件下，利用電阻發(fā)熱的原理將爐內(nèi)工件加熱到一定溫度后，通入碳源性氣體，氣體在高溫下裂解后產(chǎn)生含碳物質(zhì)，沉積于工件表面，達(dá)到組織增密的目的。
鑒于C/C復(fù)合材料廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域和廣闊的市場(chǎng)前景，我公司研制出了目前國(guó)內(nèi)最大的C/C復(fù)合材料化學(xué)氣相沉積爐（Φ2800x3600mm），主要用于大型C/C制品的化學(xué)氣相沉積，也可進(jìn)行全程真空炭化處理。

1）爐底混合性碳源性氣體進(jìn)氣及氣體分配系統(tǒng)；
2）爐膽內(nèi)外真空度微壓差控制系統(tǒng)；
3）防旋轉(zhuǎn)水冷電極結(jié)構(gòu)；
4）新型過(guò)濾裝置；

代表業(yè)績(jī)

業(yè)主：西安超碼科技有限公司

項(xiàng)目類型：EP總成套
項(xiàng)目產(chǎn)能：1300噸/年
項(xiàng)目狀態(tài)：2013年投產(chǎn)
技術(shù)性能：3臺(tái)Φ2800×H 3600mm沉積爐，12臺(tái)Φ1800×H3400mm的沉積爐。 最大裝載量：6.5 t，額定溫度：1060℃，均溫區(qū)溫差： ≤15℃，連續(xù)工作時(shí)間：≥300h，最大升溫速率：100℃/h，壓升率：≤0.002MPa/4h，冷態(tài)極限真空度：≤－0.1MPa。工作氣氛：天然氣、丙烯、及相應(yīng)反應(yīng)產(chǎn)物、氮?dú)狻⑻繗謸]發(fā)物。